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PECVD 中RF 作用是什么？

作者：紫南发布时间：2023-02-25浏览：466

RF,提供射频电压，在腔体内形成交变电场。在交变电场的作用下特气辉光放电会等离子态。对了，也并非全部等离子态，里面有很多形态，比如亚稳态离子、活性游离基、原子、等离子等等。里面相当于东北乱炖什么都有，呵呵。简单说就是RF提供等离子态能量。

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