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氧化膜制备中的氧化设备有
作者：山水闲人发布时间：2023-02-11浏览：461
部腔室，基座，腔室盖。
具有不同蒸气压的多个有机金属的氧化物膜形成在基板上并且具有均匀的成分和厚度。
该制造氧化物膜的设备包括:下部腔室;基座;腔室盖。
其包括第一气体注入口和一个或多个第二气体注入口；气体分配模块；第一源容器模块，其连接至第一气体注入口，用于提供具有第一蒸气压的第一源气体；第一载气供应模块，其给第一源容器模块供应第一载气；第二源容器模块，其连接至第一气体注入口。
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